沈阳j9九游会真空科技有限公司
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用于碳碳复合材料、石墨软毡、石墨硬毡的高温石墨化处理或其他产品的高温烧结处理。高温纯化炉是将石墨制品、石墨软毡、石墨硬毡或SiC粉体等通过高温焙烧和工艺气体定向流动,经过物理扩散、化学反应使杂质元素从基体中排出,形成灰分含量低(5ppmw)、金属含量降到PPB数量级,从而达到半导体晶体生长对石墨品质(或粉体原料)要求的工艺过程。
采用j9九游会专属超高温、大电流引电技术,能在2400℃条件下长时间稳定使用。
规格 | 温区尺寸(mm) | 最高温度(℃) | 压升率(Pa/h) | 极限真空度(Pa) |
RVSG-1316H | φ1300*1600 | 2400 | 0.67 | 0.5-500Pa |
RVSG-3126H | φ3100*2600 | 2400 | 0.67 | 0.5-500Pa |
RVSG-202048 | 2000*2000*4800 | 2400 | 0.67 | 0.5-500Pa |
RVSG-151520 | 1500*1500*2000 | 2400 | 0.67 | 0.5-500Pa |